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扫描电镜主要功能/扫描电子显微镜主要功能

扫描电子显微镜主要功能有三:5~1,000,000倍影像观察丶真实影像尺规量测丶点-线-面成分分析。影观察方面,扫描电子显微镜涵盖了低倍率~高倍率的影像观察,更包括了二次电子像丶被散电子像丶成分像丶拓朴像等多种影像观察模式。且告种影像还能以任意比例进行叠图,方便对比使用。

扫描电镜在成分分析方面主要有EDS能谱丶WDS波谱两种侦测器可以搭配。EDS能谱分析速度较快,元素检测极限约1000~2000ppm。WDS波谱分析速度较慢,但元素侦测极限较好,约在10~100ppm。EDS成分分析分析方法上面有三种模式可以选择。点分析:奈米范围内微小区域成分分析,可以帮助使用者做特定区域的分析。线扫描:可以观察扫描线段区域的成分变化。面扫描:可以观察各成分的2D分布状况。

 

在微观尺度下,许多尺规量测都是间接式的,扫描电微镜可以提供直接影像尺规量测,搭配适当的尺规量测标准件,量测结果具有相得的参考价值。

拥有良好的景深,万倍放大倍率

观察影像丶奈米尺度下进行尺规量测

扫描电子显微镜拥有强大的影像放大功能,从5~1,000,000放大倍率。特殊的电子光学特性,让扫描电镜经拥有良好的景深。在各种景深位置,不产生失焦的状况,都能够观察到清晰的图像。

扫描电子显微镜可以提供直观的尺规量测功能。在微米~奈米的尺度下直接对样品影像进行尺规量测。搭配适当尺规量测标准件,可作直接尺规量测。

二次电子影像,完整的型态凹凸起伏

可观察背散电子像丶成分像丶拓朴像

可侦测的二次电子产生於物体表面的5~10奈米范围内,因此二次电子影像具有良好的空间分辨率,扫描电子显微镜二次电子影像可以轻松达到奈米级别分辨率,在无干扰的状况下观察样品影像。

可侦测的背散电子产生於样品表面50~200奈米范围内,虽然分辨率不如二次电子像,但背散电子讯号强度较大,且可以观察背散电子像丶成分像丶拓朴像等多种影像。对影像观察丶成份比较相当有帮助。

EDS 点-线-面的定性丶定量丶成分分布图

样品舱X/Y/Z/R/T五轴可调

搭配EDS能谱可快速进行元素定性丶定量分析。可选三种分析方法:点分析--奈米区域范围内的元素分析。线分析--扫描线段范围的元素变化。面分析--各元素的2D空间分布状况。

扫描电子显微镜最多可搭配X/Y/Z/R旋转/T倾斜,五组可调轴。方便进行影像寻找与观察。可以快速调整样品位置到最佳观察状况。优中心化的五轴调整後,样品聚焦位置不改变。

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应用图像

加速电压控制在 7 kV,能观察到样品表面的台阶。

样品:陶瓷 SEI 加速电压 7 kV 倍率 × 11,000

根据观察需求制备样品,也能观察生物样品。

样品:小鼠气管 SEI 加速电压 8 kV 倍率 × 10,000 化学固定 LV-SEM 内冷冻干燥法

能清晰地观察到附着在样品表面的细小颗粒。

样品:金属粉末 SEI 加速电压 5 kV 倍率 × 5,000

能确认淀粉(球状结构)

样品:土豆 BES 加速电压 10 kV 低真空模式 30 Pa 倍率 × 250 LV 样品冷却架

离子束加工后, BEC 能确认金的通道衬度。

样品:铜基板截面 BEC 加速电压 5 kV 倍率 × 2,500

低加速电压能减轻电子束的辐照损伤,也能观察易受热损伤的样品。

样品:膈膜 SEI 加速电压 2.7 kV 倍率 × 20,000

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