扫描电镜/扫描电子显微镜选购配件

EDS能谱仪，元素快速定性定量分析

WDS波谱仪，高分辨率元素分析更灵敏

EDS能谱仪是扫描电子显微镜最常见的选购配件，可以直接分析样品的元素组成。具有分析快速丶多元素同时分析的特性。通常分析范围从B~U，可以做点分析丶线扫描分析丶面扫描分析。检测能力约在数百ppm范围。

WDS波谱仪具有极高的光谱分辨率，大约是4eV。相对於EDS能谱仪120eV的分辨率，WDS对光谱的解析更优秀，共存元素之间光谱干扰更小，元素检测极限更低。但分析样品时需要逐一扫描，所以分析间较长。

电子背散射衍射EBSD结晶取向

离子溅镀仪增加样品导电性

电子背散射衍射EBSD可用来观察金属与结晶体的结晶取向，作为瑕疵分析丶断裂分析的重要工具。它具有分析快速的特性，在金属行业与半导体行业的应用甚为广泛。

离子溅镀仪可以在样品表面溅镀上一层金或是钯来增加样品导电性。溅镀後的样品可以直接在高真空状态下观察二次电子图像丶背散电子图像，也可以使用EDS做成分分析，是最简单有效的样品前处理方法。

五轴自动位移操作更方便

影像观察二次电子丶背散电子侦测器

扫描电子显微镜可以选择全手动轴丶X/Y两轴自动丶X/Y/Z三轴自动丶五轴全自动。自动轴越多操作越方便，当然价格就越高。若搭配EDS能谱操作，建议最少选购X/Y两轴自动以上的配置。

二次电子侦测器是扫描电子显微镜最重要的侦测器，具有高分辨率丶低干扰的特性，可以达到数个奈米的分辨率。而背散电子侦测器则可以观察成分像丶拓朴像丶背散电子像等多种影像模式。

JCM-7000桌上型扫描电镜

JSM-IT200扫描电子显微镜

JSM-IT500扫描电子显微镜

全新的JCM-7000搭载JEOL日本电子InTouchScope扫描电镜系列深受好评的GUI操作界面。操作更简便，同时移植了Zeromag功能，可以从光学图像直接切换到SEM图像。

JSM-IT200扫描电镜是日本电子在2018 年将在全球同步推出的全新数字化扫描电镜，其性能优异、自动化程度高、操控界面人性化及稳定性最高的扫描电镜，可广泛的应用于各个领域。

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜。